蠕動泵應用于拋光液的傳輸時，可廣泛應用于藍寶石，電解液，天陽能，電池，液晶屏等等光學精密設備的拋光工序。

拋光和研磨工序屬精細化的機械處理，拋光液（研磨液）的傳輸屬小流量型流體處理：推擠選用CR蠕動泵型號BT100LC，BT100MH；配套DG泵頭，DG-X/6，DG-X/10，6滾輪、10滾輪可選，多卡片通道可調。

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BT100LC：0.0015~380ml/min  

高精度觸摸屏蠕動泵：傳輸，定時，定量，定時定量

BT100MH：0.0015~380ml/min

高精度按鍵調節蠕動泵：流量轉速雙模式

大部分拋光液|研磨液可通過CR蠕動泵輸送：

蠕動泵的特殊結構，使流體與泵體嚴格分離，泵的管路和泵頭可完全分離，泵管可隨時更換，蠕動泵在化學拋光過程中優勢明顯。

(1)無污染

化學拋光過程中，CR蠕動泵所輸送的拋光液始終在泵管內流動，不接觸泵體，特別是不接觸機械傳動機構，避免了化學機械拋光過程中的金屬污染，也不會因為拋光液的腐蝕性而損壞泵體的機械部件。

(2)自吸能力

CR蠕動泵能夠產生足夠的真空吸力，將拋光液從容器中吸進泵管時，不再需要將泵置于液源液位以下，使泵的安裝位置更加靈活，更好地與拋光機本身集成。

(3)操作簡單

CR蠕動泵操作非常簡單，泵的管路安裝、拆卸、鎖緊均可根據需要隨時要求，控制簡單，速度控制可通過速度控制旋鈕或操作面板來實現。此外，根據不同的流量要求，還可以串聯泵頭，實現拋光液的多通道供應。